真空装置メーカーが提案する最新表面処理技術 ~低粘着性表面処理~

表面処理の技術は、分野に限らず進化・深化が進んでいます。従来は、表面の硬度、耐摩耗性などの機械的物性を高める技術への注目が高かったのですが、近年では、様々な機能の付与が提案されています。代表的な所では、抗菌・触媒機能、潤滑機能、光制御機能などがあります。その他にも、防汚機能や、自己修復、低粘着性といったニーズも存在ます。

真空成膜装置のトップメーカーであるアルバックのグループ会社より、新しい表面処理技術として、低粘着性の表面処理技術「C39」が提案されています。2018年6月20日の日本ものづくりワールドで出展されています。

この技術はフッ素樹脂加工の代替技術として提案されています。フッ素の課題である、耐熱性や長期信頼性への対応を実現します。無機のセラミックスを焼き付ける方法で低粘着性耐熱性を実現しています。

表面に溶射で凹凸をつくり、そのうえにC39処理をして、より接着性を低減する技術も提案されています。(以下はそのサンプル)

アルバックグループは真空装置メーカーのイメージが強いのですが(実際そうですが)、成膜加工・表面処理に関する様々な技術を発表しています。代表的な技術として「ニダックス」があります。これはニッケル系の皮膜とフッ素樹脂を複合させた、潤滑性と耐摩耗性に優れた技術です。

アルバックの各種表面処理技術は自社の装置の技術を応用しており、それらを成膜装置の部材として活用するということも行われています。クリーンさが求められる成膜装置で部材のコスレやカジリによる発塵・劣化への対策や、ワークのハンドリングの改善に、有効活用されています。お困りの場合は、一度へご相談されてはいかがでしょうか。

 

アルバックテクノ

日本ものづくりワールド2018 2018年6月20日~22日 東京ビッグサイト